氮化硅的基本性質就是在于它的結構了，其中氮化硅的硅原子其實是位于四面體的中心，在它的周期也是具有四個氮原子的，并且分別在四面體的幾個頂點，然后以每三個四面體共用一個原子的形式，在三維空間形成連續而又堅固的網絡結構。氮化硅的很多性能都歸結于此結構。純Si3N4為3119，有α和β兩種晶體結構，均為六角晶形，其分解溫度在空氣中為1800℃，在011MPa氮中為1850℃。Si3N4 熱膨脹系數低、導熱率高，故其耐熱沖擊性較佳。