氮化硅粉的晶胞參數(shù)和單質(zhì)硅不一樣的，所以可以根據(jù)沉積的方法的不同，就可以生成氮化硅薄膜，也會產(chǎn)生相應(yīng)的張力還有應(yīng)力了，尤其是針對等離子體，可以增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)時，能通過調(diào)節(jié)沉積參數(shù)來減少張力。先利用溶膠凝膠法制備出二氧化硅，然后同時利用碳熱還原法和氮化對其中包含特細(xì)碳粒子的硅膠進(jìn)行處理后得到氮化硅納米線。硅膠中的特細(xì)碳粒子是由葡萄糖在1200-1350°C分解產(chǎn)生的。以上是我們?yōu)槟憬榻B的相關(guān)的內(nèi)容。